2025年8月20日，我司（東莞市晟鼎精密儀器有限公司）完成的《半導(dǎo)體用RTP快速退火爐裝備開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化》經(jīng)廣東省測(cè)量控制技術(shù)與裝備應(yīng)用促進(jìn)會(huì)、廣州市儀器儀表學(xué)會(huì)組織權(quán)威專家鑒定，項(xiàng)目成果具有創(chuàng)新性，總體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，在半導(dǎo)體晶圓多區(qū)脈沖雙腔退火工藝達(dá)國(guó)際領(lǐng)先

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核心創(chuàng)新與技術(shù)突破

*全自動(dòng)雙腔快速退火爐系列

晟鼎針對(duì)集成電路和功率器件制造工藝中快速熱處理（Rapid Thermal Processing, RTP）的需求，開展半導(dǎo)體用RTP快速退火爐裝備關(guān)鍵技術(shù)研究，成功研制面向8英寸及12英寸晶圓生產(chǎn)線的雙腔全自動(dòng)RTP快速退火爐產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

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多區(qū)脈沖雙腔高溫退火控制系統(tǒng)

研發(fā)雙腔多區(qū)獨(dú)立控溫模塊，結(jié)合毫秒級(jí)脈沖加熱方案，大幅提升升溫/降溫速率與高溫均勻性，滿足高階晶圓制造對(duì)熱處理的高質(zhì)量要求。

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智能溫控與邊緣熱補(bǔ)償算法

通過(guò)在線溫度均勻測(cè)量與動(dòng)態(tài)邊緣熱補(bǔ)償模型預(yù)測(cè)控制技術(shù)，有效校正晶圓邊緣熱損失，顯著改善傳統(tǒng)RTP設(shè)備邊緣溫度梯度問題，助力第三代半導(dǎo)體器件良率提升。

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全自動(dòng)雙腔裝備與超凈傳輸技術(shù)

采用SMIF防塵傳輸技術(shù)與輕量化高強(qiáng)度材料，結(jié)合高速伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)晶圓在超凈環(huán)境中的高速、穩(wěn)定傳輸與處理，保障產(chǎn)線連續(xù)高效運(yùn)作。

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科研實(shí)力沉淀·產(chǎn)業(yè)化加速度

十余年磨劍，鑄就半導(dǎo)體快速退火爐國(guó)產(chǎn)化基石。

晟鼎立足國(guó)家戰(zhàn)略與客戶需求，深耕技術(shù)十三載，構(gòu)建覆蓋全國(guó)及海外的7大服務(wù)分部和逾110人資深研發(fā)團(tuán)隊(duì)，形成從理論創(chuàng)新到實(shí)踐落地的全鏈條攻堅(jiān)能力。

目前，RTP快速退火爐設(shè)備已在多家行業(yè)龍頭產(chǎn)線穩(wěn)定運(yùn)行，通過(guò)實(shí)際驗(yàn)證可顯著提升晶圓良率、降低生產(chǎn)能耗，以國(guó)際先進(jìn)水平的技術(shù)實(shí)力持續(xù)驅(qū)動(dòng)國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)與生態(tài)雙重價(jià)值。

未來(lái)，晟鼎將持續(xù)深耕半導(dǎo)體高端裝備領(lǐng)域，以技術(shù)升級(jí)、創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)為核心競(jìng)爭(zhēng)力，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)RTP設(shè)備在全球產(chǎn)業(yè)鏈的價(jià)值升級(jí)，助力中國(guó)"芯"智造！

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關(guān)于晟鼎

晟鼎成立于2012年，是一家集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的專精特新“小巨人”企業(yè)。

為廣大客戶提供先進(jìn)的半導(dǎo)體、消費(fèi)電子、汽車、鋰電、光伏、FPD顯示等領(lǐng)域表面處理與檢測(cè)整體解決方案。

擁有行業(yè)內(nèi)首家等離子實(shí)驗(yàn)室，與華南理工大學(xué)創(chuàng)建半導(dǎo)體等離子應(yīng)用技術(shù)聯(lián)合研發(fā)中心，是廣東省工程技術(shù)研究中心，目前已獲得國(guó)家授權(quán)專利180余項(xiàng)。